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本公开实施例提出一种光发射电子束曝光机，光发射电子束曝光机，其特征在于，包括控制装置、激光光源、电光调制器、光电发射探针、电子镜筒以及电驱动工件台。本公开实施例通过采用光电效应发射电子束替代传统热场发射电子束，在这种新的电子束发生技术下，采...
该专利属于西湖大学所有，仅供学习研究参考，未经过西湖大学授权不得商用。

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