温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体行业中光刻胶涂覆领域，具体地说是一种排废机构及光刻胶涂覆平台，包括废液盒组件及与废液盒组件相连通的排废接头组件，废液盒组件包括废液盒盖、废液盒桶及废液盒底座，废液盒底座安装于涂胶单元底板上，废液盒桶插设于废液盒底座内，废液盒...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。