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本发明公开了一种用于生产半导体器件蚀刻系统，包括底座，所述底座的顶部安装有支撑柱，所述支撑柱的顶部安装有储物箱；所述储物箱的内表面安装有保温层，所述储物箱的顶部贯穿设置有溢流式冲水槽和恒温液槽，所述储物箱的顶部中心处设置有置物孔，所述置物孔...
该专利属于江苏晟驰微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晟驰微电子有限公司授权不得商用。

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