下载一种微型LED显示器件及其制备方法的技术资料

文档序号:34783527

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本发明公开了一种微型LED显示器件及其制备方法,包括:在外延片上蒸镀铟锡氧化物薄膜后进行图案化曝光显影并蚀刻,暴露出部分n型氮化镓层,使外延片形成台面结构和包围台面的墙壁结构;在处理后的外延片表面上沉积介电材料,形成第一钝化层;在第一钝化层...
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