专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
复旦大学
>
一种微型LED显示器件及其制备方法技术
>技术资料下载
下载一种微型LED显示器件及其制备方法的技术资料
文档序号:34783527
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种微型LED显示器件及其制备方法,包括:在外延片上蒸镀铟锡氧化物薄膜后进行图案化曝光显影并蚀刻,暴露出部分n型氮化镓层,使外延片形成台面结构和包围台面的墙壁结构;在处理后的外延片表面上沉积介电材料,形成第一钝化层;在第一钝化层...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。