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本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体温控设备振动测试方法及系统，半导体温控设备振动测试方法包括：使半导体温控设备运行待测试工况；获取半导体温控设备的压缩机的振动加速度数据，以及半导体温控设备的管道的待测点的时域速度数据和频率数据；根...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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