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太阳光谱吸收涂层的制备方法及该涂层技术
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文档序号:34766103
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本发明公开了一种太阳光谱吸收涂层的制备方法及涂层,包括:在溅射设备中安装好靶材、衬底以及两者之间的防护屏,将溅射设备的真空度和温度调节到目标值,引入惰性气体,产生等离子体;引入氧气/氮气与惰性气体的混合气流,移除防护屏,在衬底上进行纯合金沉...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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