下载一种真空镀膜生产线用平移架的技术资料

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本实用新型提供一种真空镀膜生产线用平移架,包括底架组件和可移动地设于底架组件上的平移框组件,底架组件与平移框组件之间设有用于驱动平移框组件沿X轴方向运动的第一驱动装置,平移框组件上设有用于对基片架小车进行定位和导向的定位导向组件,平移框组件...
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