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本实用新型提供一种二极溅射靶枪，包括一绝缘板，绝缘板设置在无氧铜靶座和基座之间，无氧铜靶座与绝缘板相互贴合的端面之间以及基座与绝缘板相互贴合的断面之间均设有被紧压于端面之间的至少一真空密封圈，本实用新型提供的二极溅射靶枪，真空密封性好，适用...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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