下载空心结构磁场驱动真空可变电容及射频源匹配器的技术资料

文档序号:34747199

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本发明涉及电子技术领域,公开了空心结构磁场驱动真空可变电容及射频源匹配器,包括有底座,底座的顶端连接有绝缘外壳,且绝缘外壳的顶端安装有金属壳体,底座与金属壳体之间设置有中空绝缘管。本发明中,通过给中空绝缘管内置驱动线圈通电,线圈在电流作用下...
该专利属于上海财盈半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海财盈半导体股份有限公司授权不得商用。

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