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本发明提供了一种高纯度氯气的分析方法，包括以下步骤：对四通阀一连通的取样管路进行氦气吹扫；使十通阀一、十通阀二处于反吹状态，将电子级氯气吹扫置换定量环一和定量环二；将十通阀一、十通阀二切到进样状态，推动定量环一、定量环二中的样品气到预分离柱...
该专利属于北京高麦克仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京高麦克仪器科技有限公司授权不得商用。

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