下载柱状朗缪尔探针以及适用于低密度等离子体的测量方法的技术资料

文档序号:34732833

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本发明提出了柱状朗缪尔探针以及适用于低密度等离子体的测量方法,探针包括:金属传感器、绝缘垫片、传感器保护管、探针绝缘支架、传感器主导线以及保护管辅导线;所述金属传感器的下方为传感器保护管,所述金属传感器和传感器保护管之间设置有绝缘垫片;所述...
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