温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体行业晶片制造领域，本发明公开了提供了一种晶圆平面位置校正及字符的识别设备，包括对晶圆进行平面校正的识别机构、对晶圆缺口位置识别的检测传感器和对晶圆的字符信息进行读取的检测相机；所述检测传感器和检测相机平行设置，所述检测传感器...
该专利属于深圳市轴心自控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市轴心自控技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。