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本发明公开了一种N型MOSFET,包括:形成于半导体衬底表面上的栅极结构;在栅极结构的两侧的形成有嵌入式外延层,嵌入式外延层填充于凹槽中,凹槽形成在半导体衬底中;源区和漏区形成在栅极结构两侧的嵌入式外延层中;N型MOSFET的工艺节点为7n...该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种N型MOSFET,包括:形成于半导体衬底表面上的栅极结构;在栅极结构的两侧的形成有嵌入式外延层,嵌入式外延层填充于凹槽中,凹槽形成在半导体衬底中;源区和漏区形成在栅极结构两侧的嵌入式外延层中;N型MOSFET的工艺节点为7n...