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本实用新型公开了一种防腐蚀的聚焦环，包括基座和防护组件，所述基座的顶面中央设置有晶圆，且基座的顶面外端设置有聚焦环本体，用于防腐蚀的所述防护组件设置于聚焦环本体的内侧，所述防护组件包括拓展环、环氧树脂涂层和纳米陶瓷涂层，所述拓展环的内侧设置...
该专利属于杭州跨界耐磨零部件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州跨界耐磨零部件有限公司授权不得商用。

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