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本实用新型属于离子注入技术领域，且公开了一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体，所述箱体的一侧安装有真空泵，且箱体的底部两端均固定有支腿，所述真空泵的一端通过管道与箱体相连通，所述箱体的底部中间安装有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部...
该专利属于上海丽业光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海丽业光电科技有限公司授权不得商用。

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