一种光电元器件加工用离子注入装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于离子注入技术领域，且公开了一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体，所述箱体的一侧安装有真空泵，且箱体的底部两端均固定有支腿，所述真空泵的一端通过管道与箱体相连通，所述箱体的底部中间安装有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端连接有工作台，所述箱体的内部靠近工作台的上方安装有直线导轨，所述直线导轨的侧壁通过安装座滑动连接有离子喷头，本实用新型专利技术通过转柄、丝杆、滑柱和定位板等结构的配合，可控制两个定位板相互靠近或远离，从而便于快速对工件进行夹持固定，不仅固定效果好，且不会将工件表面遮挡住，保证了工件表面离子注入的均匀性，大大提高了装置的使用效果。大大提高了装置的使用效果。大大提高了装置的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种光电元器件加工用离子注入装置


[0001]本技术属于离子注入
，具体涉及一种光电元器件加工用离子注入装置。

技术介绍

[0002]离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射，而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射，另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
[0003]在专利号为CN201821860523.3的中国专利中，公开了一种光电元器件加工用离子注入装置，该装置通过设置高压转角缸，从而对光电元器件进行下压固定，但在实际使用时，压紧后容易将光电元器件的表面遮挡住，从而导致部分区域无法完成离子注入，且难以控制压紧力度，易造成工件变形损坏，大大影响了装置的使用效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光电元器件加工用离子注入装置，以解决上述
技术介绍
中提出的固定效果差，容易将遮挡工件住，且易造成工件变形损坏的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体，所述箱体的一侧安装有真空泵，且箱体的底部两端均固定有支腿，所述真空泵的一端通过管道与箱体相连通，所述箱体的底部中间安装有电机，所述电机的输出轴延伸至箱体内部的一端连接有工作台，所述箱体的内部靠近工作台的上方安装有直线导轨，所述直线导轨的侧壁通过安装座滑动连接有离子喷头，所述工作台的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部通过轴承转动连接有丝杆，所述丝杆的两端对称安装有螺筒，且丝杆延伸至工作台外部的一端固定有转柄，所述螺筒的顶端连接有滑柱，所述滑柱延伸至滑槽外部的一端安装有定位板。
[0006]优选地，所述定位板的内侧安装有弹簧，所述弹簧远离定位板的一端固定有硅胶垫，所述定位板的两端靠近弹簧的一侧均贯穿有固定杆，且固定杆的一端与硅胶垫相连接。
[0007]优选地，所述工作台的底部两端均安装有支撑杆，所述箱体的内部底端开设有环形槽，且支撑杆的底端与环形槽滑动连接。
[0008]优选地，所述支腿的底部安装有橡胶垫，且橡胶垫的底部设置有防滑凸纹。
[0009]优选地，所述电机的外壁安装有保护罩，且保护罩的外壁开设有散热槽。
[0010]优选地，所述丝杆的外壁两端对称设置有螺旋纹，且两个螺旋纹的方向相反。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]（1）本技术通过转柄、丝杆、滑柱和定位板等结构的配合，可控制两个定位板相互靠近或远离，从而便于快速对工件进行夹持固定，不仅固定效果好，且不会将工件表面
遮挡住，保证了工件表面离子注入的均匀性，大大提高了装置的使用效果。
[0013]（2）本技术通过弹簧、硅胶垫和固定杆的配合，可大大减小定位板夹持工件时的硬性加压，进而有效避免了力度过大造成工件变形损坏，大大提高了使用时的安全性，且通过支撑杆和环形槽的配合，可对工作台进行支撑固定，从而进一步的提高了工作台转动时的稳定性。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的内部结构示意图；
[0016]图3为图2中A部的放大图；
[0017]图中：1、箱体；2、真空泵；3、支腿；4、直线导轨；5、离子喷头；6、丝杆；7、环形槽；8、电机；9、工作台；10、支撑杆；11、转柄；12、定位板；13、螺筒；14、滑槽；15、硅胶垫；16、弹簧；17、固定杆；18、滑柱。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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图3所示，本技术提供如下技术方案：一种光电元器件加工用离子注入装置，包括箱体1，箱体1的一侧安装有真空泵2，且箱体1的底部两端均固定有支腿3，真空泵2的一端通过管道与箱体1相连通，箱体1的底部中间安装有电机8，电机8的输出轴延伸至箱体1内部的一端连接有工作台9，箱体1的内部靠近工作台9的上方安装有直线导轨4，直线导轨4的侧壁通过安装座滑动连接有离子喷头5，工作台9的内部开设有滑槽14，滑槽14的内部通过轴承转动连接有丝杆6，丝杆6的两端对称安装有螺筒13，且丝杆6延伸至工作台9外部的一端固定有转柄11，螺筒13的顶端连接有滑柱18，滑柱18延伸至滑槽14外部的一端安装有定位板12。
[0020]具体，通过转动转柄11，使转柄11带动丝杆6转动，而后丝杆6驱动两个螺筒13同时移动，使螺筒13带动滑柱18移动，之后滑柱18带动定位板12移动，从而控制两个定位板12相互靠近或远离，以便快速对工件进行夹持固定，固定效果好，且不会将工件表面遮挡住，大大提高了装置的使用效果；
[0021]加工时，可通过真空泵2将箱体1内的空气抽出，从而形成中空环境，而后通过电机8带动工作台9转动，并使直线导轨4驱动离子喷头5左右移动，从而可均匀的对工件的表面进行离子注入。
[0022]进一步地，定位板12的内侧安装有弹簧16，弹簧16远离定位板12的一端固定有硅胶垫15，定位板12的两端靠近弹簧16的一侧均贯穿有固定杆17，且固定杆17的一端与硅胶垫15相连接。
[0023]具体，通过增设弹簧16和硅胶垫15，且硅胶垫15可带动固定杆17运动并挤压弹簧16，在硅胶垫15和弹簧16的弹性缓冲下，可大大减小定位板12夹持工件时的硬性加压，进而
有效避免了力度过大造成工件变形损坏，大大提高了使用时的安全性。
[0024]进一步地，工作台9的底部两端均安装有支撑杆10，箱体1的内部底端开设有环形槽7，且支撑杆10的底端与环形槽7滑动连接。
[0025]具体，通过增设支撑杆10和环形槽7，可对工作台9进行支撑固定，从而进一步的提高了工作台9转动时的稳定性。
[0026]进一步地，支腿3的底部安装有橡胶垫，且橡胶垫的底部设置有防滑凸纹。
[0027]具体，橡胶垫具有防滑的作用。
[0028]进一步地，电机8的外壁安装有保护罩，且保护罩的外壁开设有散热槽。
[0029]具体，通过保护罩可对电机8进行保护。
[0030]进一步地，丝杆6的外壁两端对称设置有螺旋纹，且两个螺旋纹的方向相反。
[0031]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：包括箱体（1），所述箱体（1）的一侧安装有真空泵（2），且箱体（1）的底部两端均固定有支腿（3），所述真空泵（2）的一端通过管道与箱体（1）相连通，所述箱体（1）的底部中间安装有电机（8），所述电机（8）的输出轴延伸至箱体（1）内部的一端连接有工作台（9），所述箱体（1）的内部靠近工作台（9）的上方安装有直线导轨（4），所述直线导轨（4）的侧壁通过安装座滑动连接有离子喷头（5），所述工作台（9）的内部开设有滑槽（14），所述滑槽（14）的内部通过轴承转动连接有丝杆（6），所述丝杆（6）的两端对称安装有螺筒（13），且丝杆（6）延伸至工作台（9）外部的一端固定有转柄（11），所述螺筒（13）的顶端连接有滑柱（18），所述滑柱（18）延伸至滑槽（14）外部的一端安装有定位板（12）。2.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述定位板（12）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩靖和，王丽萍，韩勇，赵飞，
申请(专利权)人：上海丽业光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：