温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了硅片涂胶领域一种半导体硅片自动涂胶装置及方法，包括涂胶机构、安装架、升降滑台、用于盛放硅片的托盘和用于吸附托盘的吸盘；所述涂胶机构和升降滑台滑动连接于所述安装架上；所述吸盘设置于所述升降滑台上；所述升降驱动机构驱动升降滑台和涂胶...
该专利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智程半导体设备科技（昆山）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。