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天津华慧芯科技集团有限公司
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一种图形拆分分步电子束光刻工艺制造技术
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文档序号:34693496
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本发明公开了一种图形拆分分步电子束光刻工艺,属于半导体加工技术领域,其特征在于,使用JEOL JBX
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该专利属于天津华慧芯科技集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津华慧芯科技集团有限公司授权不得商用。
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