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本申请公开了一种热丝化学气相沉积系统，属于金刚石薄膜制备领域，其包括气相沉积装置、热辐射测温仪和安装支架，气相沉积装置包括反应腔室、热丝架以及衬底，反应腔室上开设有观察窗，热辐射测温仪的探头发射的辐射线透过观察窗照射于反应腔室内，安装支架包...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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