一种热丝化学气相沉积系统技术方案

本申请公开了一种热丝化学气相沉积系统，属于金刚石薄膜制备领域，其包括气相沉积装置、热辐射测温仪和安装支架，气相沉积装置包括反应腔室、热丝架以及衬底，反应腔室上开设有观察窗，热辐射测温仪的探头发射的辐射线透过观察窗照射于反应腔室内，安装支架包括连接杆、球头杆和转动座，连接杆的一端连接反应腔室，另一端连接球头杆一端的球体，转动座的一端形成中空腔体，球体转动地设置在中空腔体内，转动座的另一端连接热辐射测温仪，从而热辐射测温仪的探头能够绕着球体的球心在球体的周面上转动，实现辐射线在反应腔室内移动，方便使用者测量衬底表面和热丝架的热丝表面的各个位置的温度，减小了测温盲区。减小了测温盲区。减小了测温盲区。

【技术实现步骤摘要】
一种热丝化学气相沉积系统


[0001]本申请涉及金刚石薄膜制备领域，尤其涉及一种热丝化学气相沉积系统。

技术介绍

[0002]热丝化学气相沉积法(HFCVD)是制备金刚石薄膜的一项常见方法，为了获得表面形貌均匀、高质量的金刚石薄膜，合理控制热丝温度以及衬底表面温度至关重要。现有的热丝化学气相沉积系统包括气相沉积装置和红外测温仪，气相沉积装置包括反应腔室，反应腔室内设置有衬底和位于衬底上方的热丝架，红外测温仪的探头置于反应腔室的观察窗外面，并采用一定的角度固定安放，测量所得的温度值直接通过显示表显示。该测量方式操作简单，方便用户使用。
[0003]然而，上述测量方式存在一定的弊端：由于红外测温仪无法移动，且观察窗的位置高于热丝所在平面的位置，因此红外测温仪的探头在测量衬底温度时会被一部分热丝所遮挡，导致测量准确性下降。鉴于此，设计一种能够实现非接触式、更精确的测量热丝及衬底温度的热丝化学气相沉积系统，对于制备高品质的金刚石薄膜尤为重要。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种热丝化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热丝化学气相沉积系统，其特征在于，包括气相沉积装置、热辐射测温仪和安装支架；所述气相沉积装置包括反应腔室和设置在所述反应腔室内的热丝架，所述热丝架与所述反应腔室的底部之间设置有衬底，所述反应腔室上还开设有观察窗，所述热辐射测温仪设置在所述观察窗处；所述热辐射测温仪靠近所述观察窗的一侧设置有探头，所述探头发射的辐射线透过所述观察窗照射于所述反应腔室内；所述安装支架包括连接杆、球头杆和转动座，所述连接杆的一端连接所述反应腔室，所述连接杆的另一端连接至所述球头杆；所述球头杆的一端形成有球体，所述转动座的一端形成有具有开口的中空腔体，所述球体转动地设置于所述中空腔体内，所述转动座的另一端连接至所述热辐射测温仪，以使所述热辐射测温仪围绕所述球体的球心转动。2.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积系统，其特征在于，所述气相沉积装置还包括基片台和转动连接于所述反应腔室的底部的第一支撑柱，所述衬底设置在所述基片台上，所述第一支撑柱连接所述基片台，以使所述基片台围绕所述第一支撑柱的转动轴旋转。3.根据权利要求2所述的热丝化学气相沉积系统，其特征在于，所述第一支撑柱为伸缩杆。4.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓飞，赵予生，任富增，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：