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本发明提供一种三维超声辅助超快激光制孔装置及方法，包括Z轴超声换能器、Y轴移动横梁、滑轨、支撑架、工作台、振动基台、X轴滑台、X轴滑槽、X轴超声换能器、Y轴超声换能器等。超快激光器输出平行光束射入二向色镜，在二向色镜装夹单元中反射后进入聚焦...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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