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一种用于检查样品的装置，包括：样品架和带电粒子柱，该样品架用于将样品保持在样品平面上；该带电粒子柱用于生成多个带电粒子小波束的阵列，并且将所述阵列朝向样品架引导。所述带电粒子柱包括物镜，该物镜用于将所述阵列的带电粒子小波束聚焦在样品平面处或...
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