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本实用新型公开了一种用于半导体石英环的抛光液供给装置，包括：支撑架，所述支撑架的侧面设置有储液箱且储液箱的上部设置有输液管，所述支撑架的内侧设置有升降机构且升降机构的侧面设置有支撑板，所述支撑板的上部设置有半导体制冷器且半导体制冷器的输出端...
该专利属于北京亦盛精密半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京亦盛精密半导体有限公司授权不得商用。

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