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本实用新型提供了一种用于金刚石晶片超声去胶的自动升降装置,包括:支撑组件,设置于超声去胶装置的外部,所述支撑组件包括底座,所述底座上设置有支撑架,所述支撑架高于所述超声去胶装置;升降组件,所述升降组件包括由驱动机构驱动并滑动设置于所述支撑架...该专利属于化合积电(厦门)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过化合积电(厦门)半导体科技有限公司授权不得商用。
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