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本发明提供了测试臂动力矩锁紧装置，包括底板、一号Z轴模组、二号Z轴模组；底板上固定安装一个固定架，一号Z轴模组和二号Z轴模组安装至两个固定架，一号Z轴模组和二号Z轴模组顶部设有锁紧板，锁紧板安装一号Z轴电机和二号Z轴电机，锁紧板上表面设有锁...
该专利属于天津金海通半导体设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津金海通半导体设备股份有限公司授权不得商用。

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