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本发明公开了一种晶硅太阳能电池用叠层钝化薄膜及其制备方法。本发明所述的叠层钝化薄膜由B2O3层、钝化膜盖层以及含氢盖层组成，并利用激光技术实现p型局部掺杂。通过原子层沉积技术沉积B2O3层，作为钝化层兼掺杂源层，B2O3层分布均匀，因而后续...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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