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本实用新型提供一种基板处理装置及基板保持部，能够高效地除去反应管内的异物。该基板处理装置具有：处理基板的反应管；以及具有保持上述基板的多个支柱的基板保持部，至少一个上述支柱具有供给惰性气体的中空部和对上述反应管的内壁供给上述惰性气体的气体供...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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