下载一种自动取片机的技术资料

文档序号:34634037

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本发明公开了一种自动取片机,其可使晶棒切割后形成的晶片一一分离,且分离效率高,其技术方案:包括一固定结构,用于固定外设晶托;还包括一切割组件、一第一驱动组件,所述第一驱动组件用于使切割组件与固定结构产生相对移动以使切割组件切割外设基板,属于...
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