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p型大面积SnTe纳米薄膜光电材料及其制备方法技术
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文档序号:34633091
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p型大面积SnTe纳米薄膜光电材料及其制备方法,涉及探测器用光电薄膜制备领域,尤其涉及一种p型SnTe纳米薄膜光电材料及其制备方法。本发明的方法通过使用SnTe单靶,利用射频磁控溅射方法,采用较低的靶材功率、无需升高衬底温度、无需后退火处理...
该专利属于昆明物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过昆明物理研究所授权不得商用。
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