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本发明涉及一种键合驱动装置和倒装芯片键合机，键合驱动装置包括支撑台、第一驱动组件、旋转驱动组件及保持件，旋转驱动组件设于支撑台上，第一驱动组件设于旋转驱动组件上，第一驱动组件包括连接轴，连接轴用于与转接轴连接，第一驱动组件能够驱动键合头沿第...
该专利属于深圳市联得自动化装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市联得自动化装备股份有限公司授权不得商用。

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