下载一种双光路合流芯片检测装置的技术资料

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公开了一种双光路合流芯片检测装置,包括底座、双光路合流模块和检测镜组模块,双光路合流模块和检测镜组模块固定在底座上,待检测芯片在外部芯片拾取结构的作用下被压入双光路合流模块,双光路合流模块外侧固定的光源打亮芯片两个表面形成的光路经过双光路合...
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