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石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜制造技术
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文档序号:34626579
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本实用新型公开了一种石墨烯电极静电透镜及扫描电子显微镜,石墨烯电极静电透镜包括导电衬底、至少一层石墨烯电极层、电极线和带电粒子束通道;导电衬底的上表面设置有绝缘层,石墨烯电极层设置在导电衬底的上表面,石墨烯电极层的表面覆盖有氮化硼介电层,对...
该专利属于惠然科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠然科技有限公司授权不得商用。
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