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本公开涉及一种屏蔽栅极沟槽(SGT)金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)。根据本公开的SGT MOSFET包括:衬底;第一外延层,设置在衬底上方;第二外延层,设置在第一外延层上方;沟道区域,设置在第二外延层上方;源极区域,设置在沟道...该专利属于无锡锡产微芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡锡产微芯半导体有限公司授权不得商用。
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