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本发明提供了一种水平式光刻胶剥离工艺。本发明的水平式光刻胶剥离工艺包括如下步骤：将待去胶晶圆在水平方向依次经过去胶液浸泡、去胶液喷淋、冲洗、烘干工序，实现晶圆上光刻胶的去除。本发明的水平式光刻胶剥离工艺，通过在水平方向湿法去胶，可将各类型光...
该专利属于广东越海集成技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东越海集成技术有限公司授权不得商用。

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