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本发明公开了一种非晶态高熵合金厚膜制备设备及制备方法，是通过离子束轰击靶材，使靶材表面几个原子层中发生级联碰撞效应，从而溅射出大量高能粒子。高能粒子快速沉积到低温衬底上，来不及形核便凝固，大幅提高了单相高熵合金的玻璃形成能力。同时，辅助离子...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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