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本发明涉及一种硅前体化合物、所述硅前体化合物的制造方法、包含所述硅前体化合物的用于形成含硅膜的前体组合物、以及利用所述前体组合物的含硅膜的形成方法。组合物的含硅膜的形成方法。组合物的含硅膜的形成方法。
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该专利属于UP化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过UP化学株式会社授权不得商用。

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