下载一种基于三元材料平面隧穿效应的光电探测器及制备方法的技术资料

文档序号:34602743

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本发明公开了一种基于三元材料平面隧穿效应的光电探测器及制备方法,利用新型三元材料作为主体敏感薄膜层材料,通过差平面隧穿效应达到调制光电探测器电流响应度和响应速度的目的。所述探测器结构从下到上依次包括:衬底、绝缘层、新型三元材料、绝缘氧化物层...
该专利属于中国民用航空飞行学院所有,仅供学习研究参考,未经过中国民用航空飞行学院授权不得商用。

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