下载母线和叉指换能器指状物端部之间具有窄间隙的横向激励薄膜体声波谐振器的技术资料

文档序号:34601962

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声波谐振器,具有附接到衬底表面的压电板,除了压电板的一部分未附接到衬底表面,压电板的一部分形成跨越衬底中的空腔的隔膜。在板上形成的叉指换能器(IDT),在隔膜上具有交错的指状物,第一平行指状物从第一母线延伸,第二平行指状物从IDT的第二母线...
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