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本实用新型公开了一种晶圆倾斜装置，包括导轨固定板、倾斜气缸、第一铰接点、滑轨、滑块、电机固定板、第二铰接点、驱动电机、连接架、晶圆本体以及工艺槽体；本实用新型涉及单片湿法处理技术领域，本实用新型的目的在于提供一种晶圆倾斜装置，通过导轨固定板...
该专利属于沈阳超夷微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳超夷微电子设备有限公司授权不得商用。

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