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本实用新型提供了一种石墨盘治具，涉及半导体生产设备技术领域，该石墨盘治具包括：烘烤架本体，烘烤架本体包两个间隔设置的固定板及设于两个固定板之间的承载架，承载架包括若干承载横梁，各承载横梁上在对应位置上都设有若干卡槽，以通过各承载横梁上的卡槽...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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