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本发明的实施例包括一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：等离子体腔室；RF驱动器，其配置为用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中；纳秒脉冲发生器，其配置为用脉冲重复频率将脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率；高...
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