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本实用新型涉及的是硅片尺寸检测的技术领域，具体是一种硅片尺寸检测筛选系统，上述硅片尺寸检测筛选系统包括：输送装置，用于传输硅片；筛选装置，设置在上述输送装置的侧面，位于上述输送装置的起始端；检测组件，设置在上述输送装置的侧面，位于上述筛选装...
该专利属于上海德瀛睿创半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海德瀛睿创半导体科技有限公司授权不得商用。

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