硅片尺寸检测筛选系统技术方案

本实用新型专利技术涉及的是硅片尺寸检测的技术领域，具体是一种硅片尺寸检测筛选系统，上述硅片尺寸检测筛选系统包括：输送装置，用于传输硅片；筛选装置，设置在上述输送装置的侧面，位于上述输送装置的起始端；检测组件，设置在上述输送装置的侧面，位于上述筛选装置的后方；尺寸检测装置，设置在上述输送装置的侧面，位于上述检测组件的后方。通过筛选装置筛选破损的硅片，避免其卡住传输装置，使检测持续进行，通过检测组件检测硅片的电阻率、表面污垢和表面缺陷的情况，进一步筛选出上述参数符合要求的硅片，通过对硅片边长、对角线长度及相邻两条边夹角等尺寸参数检测确定尺寸合格的硅片，以此来筛选出完全符合使用要求的硅片。以此来筛选出完全符合使用要求的硅片。以此来筛选出完全符合使用要求的硅片。

【技术实现步骤摘要】
硅片尺寸检测筛选系统


[0001]本技术涉及的是硅片尺寸检测的
，具体是一种硅片尺寸检测筛选系统。

技术介绍

[0002]目前，对硅片的检测过程中，在硅片的传输过程中，难免会造成破损，破损的不规则的硅片会卡住传输装置，导致传输卡顿，甚至破坏传输装置，无法持续的检测。因此，有必要提出一种硅片尺寸检测筛选系统，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0003]本技术实施例旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术实施例的目的在于提供一种硅片尺寸检测筛选系统。
[0005]为了实现上述目的，本技术实施例的技术方案提供了一种硅片尺寸检测筛选系统，包括：
[0006]输送装置，用于传输硅片；
[0007]筛选装置，设置在所述输送装置的侧面，位于所述输送装置的起始端；
[0008]检测组件，设置在所述输送装置的侧面，位于所述筛选装置的后方；
[0009]尺寸检测装置，设置在所述输送装置的侧面，位于所述检测组件的后方。r/>[0010]另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片尺寸检测筛选系统，其特征在于，包括：输送装置，用于传输硅片；筛选装置，设置在所述输送装置的侧面，位于所述输送装置的起始端；检测组件，设置在所述输送装置的侧面，位于所述筛选装置的后方；尺寸检测装置，设置在所述输送装置的侧面，位于所述检测组件的后方。2.根据权利要求1所述的硅片尺寸检测筛选系统，其特征在于，所述筛选装置包括：第一图像捕捉机构，设置在所述输送装置的侧面，位于所述输送装置的起始端，所述第一图像捕捉机构用于获取所述硅片的轮廓；第一图像识别机构，连接于所述第一图像捕捉机构，用于识别所述第一图像捕捉机构捕捉到的所述硅片轮廓。3.根据权利要求2所述的硅片尺寸检测筛选系统，其特征在于，所述筛选装置还包括：剔除机构，电连接于所述第一图像识别机构，所述剔除机构设置在所述输送装置的侧面，位于所述第一图像捕捉机构和所述检测组件之间，当所述第一图像捕捉机构将获取的所述硅片的轮廓图像发送给所述第一图像识别机构，所述第一图像识别机构判断所述硅片的轮廓有缺陷的情况下，所述剔除机构将有缺陷的所述硅片剔除。4.根据权利要求3所述的硅片尺寸检测筛选系统，其特征在于，所述剔除机构包括：吸盘，所述吸盘用于吸取所述硅片；连接杆，所述吸盘连接于所述连接杆；驱动件，所述连接杆连接于所述驱动件，所述驱动件电连接于所述第一图像识别机构，所述驱动件用于驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒲天，程明，吴正福，
申请(专利权)人：上海德瀛睿创半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：