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一种简洁的微型光谱仪制造技术
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下载一种简洁的微型光谱仪的技术资料
文档序号:34573882
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本实用新型公开一种简洁的微型光谱仪,其包括第一双光纤准直器、VBG光栅、MEMS反射镜、第二双光纤准直器、Si标准具和光探测器PD;所述第一双光纤准直器、VBG光栅和MEMS反射镜依序设置并组成TOF;所述第一双光纤准直器的输出端光纤连接至...
该专利属于福州高意通讯有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福州高意通讯有限公司授权不得商用。
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