一种简洁的微型光谱仪制造技术

本实用新型专利技术公开一种简洁的微型光谱仪，其包括第一双光纤准直器、VBG光栅、MEMS反射镜、第二双光纤准直器、Si标准具和光探测器PD；所述第一双光纤准直器、VBG光栅和MEMS反射镜依序设置并组成TOF；所述第一双光纤准直器的输出端光纤连接至第二双光纤准直器的输入端光纤；所述Si标准具上设有用于调节其温度的加热层；所述Si标准具的透射峰中心波长受加热层的温度调节，TOF的透射峰中心波长受MEMS反射镜调节。相比，Aegis的现有产品本实用新型专利技术的分辨率提高数倍至一个数量级以上。此外，Si标准具的Si片可以通过光学加工直接获得，使其拥有较低的成本。低的成本。低的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种简洁的微型光谱仪


[0001]本技术涉及光纤通信
，尤其涉及一种简洁的微型光谱仪。

技术介绍

[0002]美国Aegis公司专利US6985281B2和US7304799B2中Si标准具的a
‑
Si层厚度约5um，从摄氏26到229度，其光谱分辨率约16～22GHz。若是要提高光谱分辨率达到4GHz,甚至1GHz,原来的方式则需要改进。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术中的不足，本技术的目的在于提供一种能够获得高分辨率、宽波长、范围低成本的简洁的微型光谱仪。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种简洁的微型光谱仪，其包括第一双光纤准直器、VBG光栅、MEMS反射镜、第二双光纤准直器、Si标准具和光探测器PD；
[0006]所述第一双光纤准直器、VBG光栅和MEMS反射镜依序设置并组成TOF；
[0007]所述第一双光纤准直器的输出端光纤连接至第二双光纤准直器的输入端光纤；
[0008]所述Si标准具和光探测器PD依序设置在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种简洁的微型光谱仪，其特征在于：其包括第一双光纤准直器、VBG光栅、MEMS反射镜、第二双光纤准直器、Si标准具和光探测器PD；所述第一双光纤准直器、VBG光栅和MEMS反射镜依序设置并组成TOF；所述第一双光纤准直器的输出端光纤连接至第二双光纤准直器的输入端光纤；所述Si标准具和光探测器PD依序设置在第二双光纤准直器的后端；所述Si标准具上设有用于调节其温度的加热层；所述Si标准具的透射峰中心波长受加热层的温度调节，TOF的透射峰中心波长受MEMS反射镜调节，所述TOF的带宽小于Si标准具的自由光谱范围，当Si标...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，徐云兵，吴玉萍，郑保忠，赵武丽，陈卫民，李阳，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：新型
国别省市：