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本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长辅助处理的感应真空热压炉，涉及碳化硅晶体技术领域；包括炉体，炉体内设置有加热盘，炉体底部设置有绝缘底座，绝缘底座与加热盘相连接；炉体外部设置有加热装置，加热装置包括感应线圈，感应线圈连接有调节机构，调节...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

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