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本实用新型公开了一种单晶硅片清洗用快速干燥装置，具体涉及单晶硅干燥装置技术领域，包括干燥台，所述干燥台顶部设置有支撑板，所述支撑板顶部设置有顶板，所述顶板底部设置有干燥防灼烧机构，所述干燥防灼烧机构包括螺纹杆，所述螺纹杆一端设置有电机，所述...
该专利属于安徽晶瑞新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽晶瑞新材料有限公司授权不得商用。

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