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本实用新型公开了一种导电粒子压痕检测装置，包括底座、横移模组、横移台、升降模组、安装基台、偏移检测组件及粒子检测组件，所述横移模组固设在所述底座上用于驱动所述横移台沿水平线扫方向移动，所述升降模组固设在所述横移台上用于驱动所述安装基台沿竖直...
该专利属于厦门福信光电集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门福信光电集成有限公司授权不得商用。

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