下载一种包含横向光电二极管的图像传感器件的制作方法的技术资料

文档序号:34563630

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本发明公开了一种包含横向光电二极管的图像传感器件的制作方法,其通过制造锗硅混合晶圆来在锗硅混合晶圆上形成横向光电二极管,以形成的横向光电二极管来制造图像传感器件;锗硅混合晶圆由锗转移层和硅目标晶圆通过键合形成,硅目标晶圆的正面依次形成缓冲氧...
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