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本发明涉及一种包括至少一个MEMS或ASIC部件的装置,该装置包括第一层(3,14,114)和在第一层上的MEMS部件和/或ASIC部件(9,18,118),以及设置在第一层上或上方的第二层(15,26,126),第二层包括接收MEMS部件...该专利属于泰科电子连接解决方案有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰科电子连接解决方案有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及一种包括至少一个MEMS或ASIC部件的装置,该装置包括第一层(3,14,114)和在第一层上的MEMS部件和/或ASIC部件(9,18,118),以及设置在第一层上或上方的第二层(15,26,126),第二层包括接收MEMS部件...